Оглавление:
Турбомолекулярный насос представляет собой кинетический вакуумный насос, работающий по принципу турбины.
Турбомолекулярный насос
Вакуумный турбомолекулярный насос работает исключительно в паре со вспомогательным насосом, который обеспечивает необходимое выходное давление. Без определенных показателей турбомолекулярное оборудование не запустится.
Отличительными чертами турбомолекулярного насоса выделяют высокую производительность, надежность в процессе эксплуатации и высокую стоимость. Цена турбомолекулярного насоса обусловлена качеством материала конструкции и особенностями строения деталей. Установка специализируется на перекачке газов с большой скоростью. Основные детали конструкции оборудования – ротор, подшипники и статор. Характеристики составляющих турбомолекулярного насоса:
- Ротор представляет собой металлическую деталь, имеющую форму цилиндра.
- Статор сделан из прочного материала, отличается герметичностью для обеспечения вращения ротора внутри.
- Подшипники производят из высокопрочного материала – нитрида силикона. Они обеспечивают высокую устойчивость к износу, а также бесперебойное функционирование оборудования.
Турбомолекулярные насосы востребованы в узкоспециализированных направлениях. Оборудование применяется для нанесения напыления покрытий, толщина пленки которых очень мала, полупроводниковые механизмы и датчики, определяющие утечку вещества, производятся при действии вакуума, создаваемого насосом. К достоинствам турбомолекулярного насоса относят:
- отсутствие масла в рабочем объеме;
- нагнетание сверхглубокого вакуума;
- перекачка крупного объема газов;
- возможность работы с агрессивными и инертными газами;
- рабочее давление колеблется в широком диапазоне;
- устойчивы к резким скачкам показателей давления;
- быстро запускаются;
- легкое обслуживание;
- быстрая и качественная перекачка тяжелых газов.
Для стабильной и бесперебойной работы оборудования необходимо своевременно производить смену смазывающего материала, также рекомендуется следить за состоянием подшипников. Замену комплектующих частей делают специалисты, которые знают особенности и настройки оборудования.
Принцип работы турбомолекулярных насосов
Принцип работы турбомолекулярного насоса заключается во вращении диска с лопастями внутри рабочего объема. Молекулы газа, поступающие в установку через входной патрубок, ускоряются лопастями при движении по специальным канавкам. Затем происходит сжатие газа и его вывод через выходное отверстие под воздействием дополнительного подкачивающего насоса.
Стоит отметить, что в рабочем объеме находятся лопасти 2-х типов:
- подвижные;
- неподвижные.
Они расположены на разных уровнях. Подвижные лопасти передают импульсы молекулам поступающего газа, направляя их в сторону стенок установки. На поверхности молекулы скапливаются, а их термическая скорость увеличивается за счет движения лопастей. Турбомолекулярный насос может быть в 2-х вариантах исполнения: горизонтально направленный и вертикально направленный. Скорость производительности и действия, а также степень сжатия напрямую зависят от скорости, с которой вращается ротор, и от его геометрических особенностей. Фланец оборудования должен быть направлен вниз для предотвращения скопления возле подшипника конденсата рабочей жидкости (масло или вода из форвакуумного трубопровода).
Турбомолекулярный насос ТМН
Турбомолекулярный насос ТМН – насос вращательного типа. Широко используется в различных отраслях промышленности: авиационная, электронная, электротехническая, атомная и другие. ТМН получили распространение благодаря способности не загрязнять рабочую камеру парами углеводорода, максимально ускоряться при работе с легкими газами, создавая в рабочем объеме различную степень сжатия. Распространенная модель – турбомолекулярный насос ТМН-500. Установка отличается высокой эффективностью, скоростью накачивания требуемого вакуума. При этом процесс не зависит от перекачиваемого объема и от качества газа.
Насос выделяется особенностью уравновешивания опоры без вспомогательной балансировки. Это способствует тому, что пользователь может самостоятельно заменить подшипники, а также оба вида лопаток. Существует возможность интенсивного прогрева и продолжительной интенсивной работы.
Турбомолекулярный насос КУКУ
Турбомолекулярный насос КУКУ – универсальная установка безмасляного типа. Отличается гибридной ступенью и необслуживаемыми подшипниками из керамики. Оборудование обеспечивает непрерывную откачку газа без потери трудоспособности.
Смазка используемых подшипников в установке твердая, поэтому насос может устанавливаться в любом удобном положении. Ротор турбомолекулярного насоса производится из цельной заготовки. Это обеспечивает высокую устойчивость к деформациям и отсутствие вибрации во время откачки. Купить турбомолекулярный насос можно у официальных представителей иностранной компании – производителя. Цена оборудования при всех достоинствах конструкции и производительности является доступной.
Ремонт турбомолекулярных насосов
Турбомолекулярные насосы отличаются строгими показателями настроек, которые неопытный пользователь может сбить при попытке самостоятельно отремонтировать оборудование. В случае поломки обязательно следует обращаться к специалистам, которые сделают качественную диагностику установки и произведут замену вышедшей из строя детали. Сервисные центры специализируются на гарантийном и постгарантийном обслуживании установок. Стоимость ремонта зависит от типа поломки и сложности ее устранения. Зачастую на проведенный ремонт выдается долгосрочная гарантия. Также стоит отметить, что цена ремонта представляет собой определенный процент от полной стоимости турбомолекулярного насоса.